پهنه صنایع تولید وسائط نقلیه با حدود 11 درصد از کل مساحت فاز اول توسعه، یکی از اصلی‌ترین پهنه‌های صنعتی منطقه ویژه اقتصادی کاشان است. هم‌اکنون چهار سرمایه‌گذار در این پهنه در حال استقرار است. رشته‌های صنعتی با کد 34 و 35 قابل استقرار در این پهنه هستند.
پهنه پارک‌های شیمیایی حدود 9 درصد از کل مساحت منطقه را تشکیل می‌دهد. این پهنه محل استقرار صنايع توليد مواد و محصولات شيميایی و شرکت‌های تولیدی مشابه (کد 24) است. پهنه پارک‌های شیمیایی تاکنون متقاضیان زیادی داشته و هم‌اکنون چندین شرکت در حال مذاکره برای اخذ جواز تأسیس و استقرار در این پهنه هستند.
پهنه صنایع ماشین‌آلات با حدود 4.5 درصد از کل مساحت فاز اول منطقه محل استقرار 5 رشته صنعتی در کدهای آیسیک 29 تا 33 است. این رشته‌ها شامل تولید ماشین‌آلات و تجهیزات طبقه‌بندي نشده درجاي دیگر، توليد ماشين آلات اداری و حسابگر و محاسباتی، توليد ماشين آلات و دستگاه‌های برقی طبقه بندی نشده جای ديگر، توليد راديو و تلويزيون و دستگاه‌ها و وسايل ارتباطي، توليد ابزار پزشكی و ابزار اپتيكی و ابزار دقيق و ساعت‌های مچی و انواع ديگر ساعت است.
پهنه صنایع تولید قطعات و محصولات فلزی با مساحت حدود 10 هکتار (4 درصد از کل مساحت منطقه) محل استقرار فعالیت‌ها با کد 28 با عنوان تولید محصولات فلزی فابریکی به جزماشین آلات و تجهیزات است.
پهنه صنایع منسوجات با مساحت حدود 9 درصد (3.6 درصد از کل مساحت منطقه) محل استقرار فعالیت‌ها با کد 17 تولید منسوجات است. برای این پهنه نیز در حال حاضر دو سرمایه‌گذار متقاضی استقرار در منطقه وجود دارد.
پهنه صنایع لاستیک و پلاستیک با کد آیسیک 25 با عنوان تولید فرآورده‌های لاستیکی و پلاستیکی با مساحت 11 هکتار و سهم 4.2 درصد از کل مساحت منطقه در جنوب غربی فاز اول توسعه قرار دارد.
